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光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。
常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem。目前，世界上能制造光刻机的国家有荷兰、日本、德国和中国。目前能制造高端光刻机的厂家有：荷兰ASML，日本Nikon，日本Canon，以及上海微电子装备和德国的欧泰克
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第一没有哪个国家能够独立制造光刻机，光刻机代表人类最高的智慧结晶，光零部件就数以万计，而且每一个零部件都是精密器件。
第二制造光刻机需要建立全球供应链体系，有的国家对精密轴承做的非常到位如瑞典、德国等，有的国家对镜头制造高端如日本、德国等……
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